上海電磁調(diào)節(jié)閥用途：由外部電路驅(qū)動可比例調(diào)節(jié)通道氣體流通流量。
上海電磁調(diào)節(jié)閥用途：
由外部電路驅(qū)動可比例調(diào)節(jié)通道氣體流通流量。
| 型 號 | DT2B A～R | DT2B S～Z | Model |
| 量程規(guī)格(N2) | 5,10,20,30,50,100,200,300,500SCCM | 20,30,50,100,200,250,300SLM | Ranges of Flow(N2) |
| 耐壓 | 3MPa | Max Pressure | |
| 工作壓差 | ≤10SLM：0.10.5MPa | ≤30SLM：0.05～0.3MPa＞30SLM | Operation Pressure |
| 漏率 | 1×10-8sccsHe | Leak Integrity | |
| 密封材料 | 氟橡膠Viton，氯丁橡膠Neoprene, | Materials | |
| 驅(qū)動電源 | 0～15DVC | Power Supply | |
| 接口尺寸 | mpression Fittingφ3；φ6；1/4" | mpression Fittingφ6；1/4"；φ8；3/8"；φ10 | Fittings |
| 重量 | 0.55Kg | 1.8Kg | Weight |
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